Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений
В.И.Марголин, В.А.Жабрев, В.А.Тупик.
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.Для студентов высших учебных заведений.
скриншот страницы
скриншот страницы
Категорії:
Рік:
2008
Видавництво:
Издательский центр «Академия»
Мова:
russian
Сторінки:
402
ISBN 10:
5769542276
ISBN 13:
9785769542275
Файл:
DJVU, 5.06 MB
IPFS:
,
russian, 2008