Физика поверхности полупроводников

Издательство киевского университета 1967г. - 192 с.
Книга является учебным пособием по курсу физики поверхности полупроводников В ней рассмотрены вопросы влияния состояния поверхности на физические свойства полупроводников, а также на работу полупроводниковых приборов. Излагаются основные вопросы теории области пространственного заряда и поверхностного рассеяния носителей тока. Рассмотрены теория поверхностной рекомбинации и основные экспериментальные методики измерения скорости поверхностной рекомбинации. Описаны экспериментальные методы исследования электронной структуры поверхности кристалла и методика расчета параметров поверхностных электронных состояний.
Специальные главы посвящены вопросам влияния поверхности на параметры и работу полупроводниковых приборов, методам получения и результатам исследования атомарно чистой поверхности кристаллов, а также описанию таких новых экспериментальных методов изучения поверхности полупроводников, как канал-эффект, емкостной эффект поля, люминесцентный эффект поля и другие. Приводятся основные результаты исследования «быстрых» и «медленных» поверхностных уровней на германии и кремнии.
Таблиц — 2, иллюстраций — 103, библиография — 300 названий